吸气剂分类及型号命名方法

基础信息

标准号：GB/T 4965-1985发布日期：1985-02-28实施日期：1985-11-01上次复审日期：2016-12-31上次复审结论：继续有效标准类别：基础中国标准分类号：L35国际标准分类号：31.020 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

南京工学院

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