电子气体 六氟化硫

基础信息

标准号：GB/T 18867-2025发布日期：2025-04-25实施日期：2025-11-01全部代替标准：GB/T 18867-2014标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会主管部门：国家标准委

起草单位

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起草人

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相近标准(计划)

GB/T 18867-2014 电子工业用气体六氟化硫20200510-T-604 压力式六氟化硫气体密度控制器 DL/T 1986-2019 六氟化硫混合气体绝缘设备气体检测技术规范DL／T 1366—2023 电力设备用六氟化硫气体DL/T 1366-2014 电力设备用六氟化硫气体DL/T 916-2005 六氟化硫气体酸度测定法DL/T 917-2005 六氟化硫气体密度测定法DL/T 662-1999 六氟化硫气体回收装置技术条件DL／T 259—2023 六氟化硫气体密度继电器校验规程DL/T 662-2009 六氟化硫气体回收装置技术条件

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